國立中興大學教學大綱

課程名稱	(中) 半導體工業的雕刻藝術─微影與蝕刻(2927)
	(Eng.) The Art of Engraving in Semiconductor Industry — Lithography and Etching
開課單位	科教中心
課程類別	選修	學分	0	授課教師	陳坤麟 等
選課單位	不限系所	授課語言	中文	開課學期	1141
課程簡述	本課程主要介紹近年來半導體元件製造中最關鍵的製造技術──微影與蝕刻，讓所有人都能對已經是生活中不可或缺的半導體元件有基本的認識，也能稍微瞭解半導體元件的製造技術，進而增加投入科學研究與工業發展的興趣與意願，促進全民的生活福祉。本課程主要討論的主題有：1. 微影術(lithography)、2. 蝕刻(etching)、3. 簡易微影與蝕刻實驗。
先修課程名稱				課程含自主學習	N

課程與核心能力關聯配比(%)			課程目標之教學方法與評量方法
課程目標	核心能力	配比(%)	教學方法	評量方法
對半導體工業有初步認識，並瞭解關鍵的核心技術			習作 講授	書面報告 出席狀況 實作
授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習)
週次 授課內容 第1週 半導體工業簡介與半導體製造技術概述 第2週 微影術(lithography) 第3週 蝕刻(etching) 第4週 簡易微影與蝕刻實驗(一) 第5週 簡易微影與蝕刻實驗(二) 第6週 簡易微影與蝕刻實驗(三) 第7週 第8週 第9週 第10週 第11週 第12週 第13週 第14週 第15週 第16週 自主學習 內容 本課程為專業領域微課程(6小時)，故無自我學習內容。
學習評量方式
書面報告
教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明)
自編講義
課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址）
課程輔導時間
另與授課老師約時間
聯合國全球永續發展目標(連結網址)
04.教育品質 提供體驗課程：Y

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更新日期 西元年/月/日：2025/08/14 14:13:50	列印日期 西元年/月/日：2025 / 9 / 13
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