| 課程與核心能力關聯配比(%) |
課程目標之教學方法與評量方法 |
| 課程目標 |
核心能力 |
配比(%) |
教學方法 |
評量方法 |
| Introduce students to design and simulation of microactuators and microsensors. You will complete semester project combining STMicroelectronics' piezoresistive MEMS with a 1P6M process for a resistive sensing interface circuit. |
| 1.運用數學、科學及製程工程知識能力 |
| 2.設計、執行實驗、分析數據及撰寫論文能力 |
| 3.整合製程、元件與系統設計、實作及產品設計能力 |
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| 授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習) |
| 週次 |
授課內容 |
| 第1週 |
Characterize ST's piezoresistive MEMS (e.g., LIS2PW series)
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| 第2週 |
Extract piezoresistor parameters
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| 第3週 |
Model MEMS as a Wheatstone bridge
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| 第4週 |
Report on MEMS electrical model and ΔR/acceleration sensitivity |
| 第5週 |
Readout IC Design based on a Instrumentation Amplifier (IA) + Sigma-Delta ADC |
| 第6週 |
Wheatstone Bridge Excitation |
| 第7週 |
Instrumentation Amplifier |
| 第8週 |
Sigma-Delta Modulator |
| 第9週 |
Schematics & simulation results (gain, noise, power)
Layout floorplan |
| 第10週 |
Co-design MEMS + CMOS 1P6M |
| 第11週 |
Design Rule |
| 第12週 |
Parasitic Extraction
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| 第13週 |
Post-Layout Simulation |
| 第14週 |
DRC/LVS-clean GDSII |
| 第15週 |
Post-layout performance report |
| 第16週 |
final report |
自主學習
內容 |
01.參與專業論壇、講座、企業分享等產官學研相關交流活動
03.製作專題報告
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| 學習評量方式 |
| Homework 50%, Project 50% |
| 教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明) |
Recommended text: S.D. Senturia, “Microsystem Design”, Kluwer.
Recommended Text: G.T.A. Kovacs, “Micromachined Transducers Sourcebook”, WCB/McGraw-Hill, 高立.
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| 課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址） |
| ilearning |
| 課程輔導時間 |
| Tuesdays noon – 1pm |
| 聯合國全球永續發展目標(連結網址) |
| 04.教育品質 07.可負擔能源 08.就業與經濟成長 09.工業、創新基礎建設 | 提供體驗課程：N |
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