| 課程與核心能力關聯配比(%) |
課程目標之教學方法與評量方法 |
| 課程目標 |
核心能力 |
配比(%) |
教學方法 |
評量方法 |
透過此課程可讓學員建立微奈米機電製程技術的入門基礎，進而培養開發未來製程技術的潛力，並瞭解微機電技術與生物醫學產業的結合、應用與發展，如Bio-chip、microfluidic control、microelectrodes、Lab-on-a-chip等的設計概念。
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| 授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共18週) |
| 週次 |
授課內容 |
| 第1週 |
1.課程介紹 與 導論
2.電子材料與製程
3.MEMS材料與製備
4.標準微電子技術
5.矽微加工：體型
6.矽微加工：面型
7.微立體微影
8.微感測器
9.微小化縮放律 |
| 第2週 |
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| 第3週 |
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| 第4週 |
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| 第5週 |
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| 第6週 |
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| 第7週 |
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| 第8週 |
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| 第9週 |
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| 第10週 |
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| 第11週 |
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| 第12週 |
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| 第13週 |
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| 第14週 |
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| 第15週 |
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| 第16週 |
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| 第17週 |
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| 第18週 |
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| 學習評量方式 |
上課情形10％
期中考30%
期末考30%
期末報告30%
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| 教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明) |
1.Julian W. Gardner, Vijak K. Varadan, Osama O. Awadelkarim,溫榮弘譯,微機店元件,滄海書局余柏璁 0937-215704(上課用書)
2.徐泰然著, 朱銘祥譯, 微機電系統與微系統設計與製造, 麥格羅希爾公司,2003
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| 課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址） |
1.Class Participation: 10%
2.Midterm Exam: 30%
3.Final Exam: 30%
4.Oral report: 30% |
| 課程輔導時間 |
Wed. 10:00-12:00
生機館K511 |
| 聯合國全球永續發展目標 |
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