國立中興大學教學大綱
課程名稱 (中) 真空技術(6929)
(Eng.) Vacuum Technology
開課單位 智科碩士學程
課程類別 選修 學分 3 授課教師 陳峰志
選課單位 智科博士學程 / 博士班 授課使用語言 中文 英文/EMI 開課學期 1131
課程簡述 真空技術是現代科技的基石,特別是半導體、顯示器、光電⋯ 等高科技製造產業,多項關鍵核心製程與量測都是在真空系統中進行。其它包括同步輻射、電子顯微鏡、質譜儀、能譜儀等科學分析儀器也都是相當典型的真空系統應用,乃至民生相關的食品包裝、眼鏡鍍膜⋯ 等,真空技術都扮演著重要的核心角色。因此,真空技術可說是高科技產業及科學研究發展的重要基礎。真空技術課程內容包括真空技術的基礎理論、各式真空幫浦的介紹、各類真空元件及材料、真空系統的設計組裝、真空測漏、真空度量與檢校,以及真空系統的應用。
先修課程名稱
課程含自主學習 N
課程與核心能力關聯配比(%) 課程目標之教學方法與評量方法
課程目標 核心能力 配比(%) 教學方法 評量方法
1. 以真空系統個案研究,學習真空系統組成,以及技術發展趨勢。
2. 培養真空系統、元件或製程之能力
3. 培養跨領域系統整合與運用真空系統的素養。
1.具有工業與智慧科技專業智能
2.整合專業、設計、執行與分析能力
3.具備產業技術、專業知識整合及運用
4.具備產業分析及國際視野
5.溝通協調能力與團隊合作之精神
20
20
20
20
20
參訪
習作
討論
講授
書面報告
出席狀況
作業
測驗
授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共18週)
週次 授課內容
第1週 真空概論
第2週 氣體分子動力論
第3週 氣流與氣導(一)
第4週 氣流與氣導(二)
第5週 氣體的吸附和逸氣
第6週 真空度量(一)
第7週 真空度量(二)
第8週 真空標準與校正
第9週 期中考試
第10週 真空幫浦(一)
第11週 真空幫浦(二)
第12週 真空流量計
第13週 真空材料、元件與封合(一)
第14週 真空材料、元件與封合(二)
第15週 真空系統設計與裝配
第16週 真空測試與測漏
第17週 真空設備產學機構教學參訪
第18週 期末考試
學習評量方式
出席狀況、隨堂作業、期中考試、教學參觀書面報告、期末考試
教科書&參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明)
自製講義
參考書目:
1. 真空技術與應用(Vacuum Technology & Application),國家實驗研究院儀器科技研究中心出版
2. Vacuum Technology, L.G. Carpenter, ed. 1983, A Hilger
3. Vacuum Technology, 2nd, rev. ed. A. Roth 1982, Elserier
4. 蘇青森,真空技術,東華書局
5. 呂登復,實用真空技術,國興出版社
課程教材(教師個人網址請列在本校內之網址)

課程輔導時間
每週三下午 4:00 至 5:00
聯合國全球永續發展目標
03.健康與福祉   04.教育品質   08.就業與經濟成長   09.工業、創新基礎建設提供體驗課程:Y
請尊重智慧財產權及性別平等意識,不得非法影印他人著作。
更新日期 西元年/月/日:2024/07/01 16:44:42 列印日期 西元年/月/日:2024 / 12 / 28
MyTB教科書訂購平台:http://www.mytb.com.tw/