| 課程與核心能力關聯配比(%) |
課程目標之教學方法與評量方法 |
| 課程目標 |
核心能力 |
配比(%) |
教學方法 |
評量方法 |
教導學生了解微機電系統製程技術，及其在微感測器與微致動器的應用。
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| 1.具備機械領域之專業知識與獨立解決問題之能力。 |
| 2.具備創新思考、規劃並執行研究專題及表達研究成果及撰寫專業論文之能力。 |
| 3.具協調跨領域人才與整合技術之能力。 |
| 4.具良好的產業國際觀。 |
| 5.具領導、管理、規劃及自我學習成長之能力。 |
| 6.瞭解工程技術對環境永續、社會共好、及全球發展的影響。 |
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| 授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習) |
| 週次 |
授課內容 |
| 第1週 |
Introduction to microelectromechanical system |
| 第2週 |
Deposition thin film technology, PVD. |
| 第3週 |
Deposition thin film technology, CVD. |
| 第4週 |
Deposition thin film technology, CVD. |
| 第5週 |
Lithography technology |
| 第6週 |
Etching technology |
| 第7週 |
Doping technology |
| 第8週 |
Silicon fabrication technology, MOS. |
| 第9週 |
期中考 |
| 第10週 |
Silicon fabrication technology (期中報告) |
| 第11週 |
Surface micromachining technology
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| 第12週 |
Surface micromachining technology |
| 第13週 |
Buck micromachining technology |
| 第14週 |
Buck micromachining technology |
| 第15週 |
LIGA and CMOS-MEMS technology |
| 第16週 |
Application of microelectromechanical system (期末考)
Self-learning, Conducting a case study and creating a report on microelectromechanical systems. |
自主學習
內容 |
03.製作專題報告
製作微機電系統專題報告 |
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| 學習評量方式 |
| 期中考30%、期末考30%、自主學習+作業報告(20%)、點名20% |
| 教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明) |
教科書：
1.莊達人. VLSI製程技術, 高立書局, 2002.
2.Julian W.Gardner,Microsensors MEMS and Smart Devices,Wiley,2001.滄海書局代理。
參考書目：
S.Fatikow and U.Rembold,Microsystem Technology and Microrobotics, Springer,1997 |
| 課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址） |
投影片講解，黑板演算
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| 課程輔導時間 |
星期四 3,4節
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