| 課程與核心能力關聯配比(%) |
課程目標之教學方法與評量方法 |
| 課程目標 |
核心能力 |
配比(%) |
教學方法 |
評量方法 |
使學生了解真空系統分析，設計原理及各種真空元件之特性與應用，建立學生在真空系統應用之基礎。
Let students understand the basic characteristics of vacuum system and components to have the basic skill for working with vacuum system in industry. |
| 1.運用數學、科學及機械工程知識之能力。 |
| 2.設計與執行實驗及分析數據之能力。 |
| 3.具有計畫管理、團隊合作並能設計、製作機械工程系統之能力。 |
| 4.具人文素養並能認識時事議題、瞭解科學與工程技術對環境永續、社會共好、及全球發展的影響。 |
| 5.培養學生自我學習之能力。 |
| 6.認知機械工程人員之專業倫理與社會責任。 |
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| 授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習) |
| 週次 |
授課內容 |
| 第1週 |
真空系統介紹(Introduction to Vacuum ) |
| 第2週 |
自主學習 (Self Learning) |
| 第3週 |
真空電漿系統簡介(Introduction to Vacuum Plasma System) |
| 第4週 |
氣體基本性質(Gas Property) |
| 第5週 |
10/10 放假 (Holiday) |
| 第6週 |
氣流、氣導與氣體的吸附和放出(Gas Release from Solids) |
| 第7週 |
氣流、氣導與氣體的吸附和放出(Gas Release from Solids) |
| 第8週 |
機械真空幫浦與抽氣效率(Mechanical Vacuum Pump and Pumping Speed) |
| 第9週 |
期中考11/07 (Midterm Exam.) |
| 第10週 |
高真空幫浦 (High Vacuum Pump) |
| 第11週 |
真空量測元件與測漏 (Vacuum Gauge and Leaking Test) |
| 第12週 |
真空材料與元件 (Material and Device for Vacuum) |
| 第13週 |
真空材料與元件 (Material and Device for Vacuum) |
| 第14週 |
真空電漿系統(Plasma System) |
| 第15週 |
真空電漿在半導體製程之應用(Vacuum Plasma in Semiconductor Application) |
| 第16週 |
第二次期中考 12/26 (Second Midterm Exam. )
專題口頭報告01/02 (Oral Presentation for the project)
自主學習 (Self Learning) |
自主學習
內容 |
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| 學習評量方式 |
專題口頭報告:20%
期中考試:40%
期末考試:40% |
| 教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明) |
參考書目：
1.John F.O’Hanlon, A User’s Guide to Vacuum Technology, John Wiley & sons,
Inc., 2003.
2.Marsbed H.Hablanian,High Vacuum Technology,A practical guide,CRC Press, 1997.
3.“真空技術與應用”精密儀器發展中心, 2001. |
| 課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址） |
| iLearning 數位教學平台 |
| 課程輔導時間 |
| 星期四 (Thurs.) 17:10~18:00 |
| 聯合國全球永續發展目標(連結網址) |
| 08.就業與經濟成長 12.責任消費與生產 | 提供體驗課程：N |
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