國立中興大學教學大綱
課程名稱 (中) 半導體儀器分析之雙束型聚焦離子束系統實作課程(7534)
(Eng.) Hands-on Course on Dual Beam Focused Ion Beam System in Semiconductor Instrumentation
開課單位 前瞻中心(研)
課程類別 選修 學分 0 授課教師 王雷 等
選課單位 不限系所 授課使用語言 中/英文 開課學期 1142
課程簡述 雙束型聚焦離子束系統原理及儀器基本操作使用
Principles of Dual Beam Focused Ion Beam System and Basic Instrument Operation
先修課程名稱
課程與核心能力關聯配比(%) 課程目標之教學方法與評量方法
課程目標 核心能力 配比(%) 教學方法 評量方法
本課程介紹雙束型聚焦離子束(Dual Beam-FIB)的儀器原理及其應用於材料微結構之分析方法。期藉由本課程的修習讓學生充分了解各項設備的功能,進而活用於其研究工作。
This course introduces the principles of Dual Beam Focused Ion Beam (Dual Beam-FIB) and its applications in the analysis of material microstructure. By completing this course, students will gain a thorough understanding of the functionalities of various equipment, enabling them to effectively apply these tools in their research work.
授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習)
週次 授課內容
第1週 雙束型聚焦離子束(Dual Beam-FIB)
-穿透式電子顯微鏡試片製備
-定點剖面與SEM觀察
-離子穿隧影像對比

Dual Beam Focused Ion Beam (Dual Beam-FIB)

-Sample Preparation for Transmission Electron Microscopy (TEM)
-Site-Specific Cross-Sectioning and SEM Observation
-Ion-Tunneling Image Comparison
第2週
第3週
第4週
第5週
第6週
第7週
第8週
第9週
第10週
第11週
第12週
第13週
第14週
第15週
第16週
自主學習
內容
   01.參與專業論壇、講座、企業分享等產官學研相關交流活動
   03.製作專題報告

學習評量方式
Attendance and Project Report
教科書&參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明)

課程教材(教師個人網址請列在本校內之網址)

課程輔導時間

聯合國全球永續發展目標(連結網址)
提供體驗課程:N
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更新日期 西元年/月/日:2026/01/15 10:53:51 列印日期 西元年/月/日:2026 / 5 / 06
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