| 課程與核心能力關聯配比(%) |
課程目標之教學方法與評量方法 |
| 課程目標 |
核心能力 |
配比(%) |
教學方法 |
評量方法 |
原子力顯微鏡（Atomic Force Microscope, AFM）目前在半導體領域有著廣泛的應用，能夠提供完整奈米級的三維高分辨率的表面成像，並可進行微區域的納米尺度的機械、電性檢測。為半導體材料和元件的研究、設計和製造提供了納米級的精確度，並且能夠深入了解材料和元件的物理、電學和機械性質。
The Atomic Force Microscope (AFM) currently has widespread applications in the semiconductor field. It provides complete, high-resolution three-dimensional surface imaging at the nanoscale and enables mechanical and electrical measurements in micro-scale regions. AFM offers nanometer-level precision for the research, design, and manufacturing of semiconductor materials and devices, allowing for a deeper understanding of their physical, electrical, and mechanical properties.
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| 授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習) |
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授課內容 |
| 第1週 |
1. 掃描探針顯微鏡(SPM)
2. 儀器原理及設備介紹
3. 原子力顯微鏡之掃描模式，接觸、輕敲、非接觸
4. 掃描參數之解說
數據處理及分析
1. Scanning Probe Microscopy (SPM)
2. Instrument Principles and Equipment Introduction
3. Scanning modes of Atomic Force Microscopy (AFM): Contact, Tapping, Non-Contact
4. Explanation of Scanning Parameters
5. Data Processing and Analysis |
| 第2週 |
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| 第3週 |
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| 第4週 |
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| 第5週 |
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| 第6週 |
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| 第7週 |
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| 第8週 |
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| 第9週 |
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| 第10週 |
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| 第11週 |
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| 第12週 |
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| 第13週 |
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| 第14週 |
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| 第15週 |
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| 第16週 |
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自主學習
內容 |
01.參與專業論壇、講座、企業分享等產官學研相關交流活動
03.製作專題報告
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| 學習評量方式 |
| Attendance and Project Report |
| 教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明) |
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| 課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址） |
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| 課程輔導時間 |
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| 聯合國全球永續發展目標(連結網址) |
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