國立中興大學教學大綱

課程名稱	(中) 奈米光電檢測技術(6057)
	(Eng.) Nano Optical and Electronic Testing and Measurement Technologies
開課單位	奈米科學所
課程類別	選修			學分	3	授課教師	張茂男
選課單位	半導體碩學程 / 碩士班			授課使用語言	中文	開課學期	1151
課程簡述	這是一門介紹奈米檢測技術的相關知識與原理，以及學習以奈米檢測技術分析製程問題的課程。本學期課程由半導體材料特性的簡介開始，搭配各項材料分析技術的說明，包括掃描探針顯微鏡技術、電子顯微鏡技術、質譜分析技術等，可深入了解半導體材料檢測與分析技術對科技產業的重要性。在課程中，將安排我國尖端半導體產業與研究機構的資深主管進行專題講授與經驗分享，是理論與實用兼具的課程。
先修課程名稱

課程與核心能力關聯配比(%)			課程目標之教學方法與評量方法
課程目標	核心能力	配比(%)	教學方法	評量方法
藉由半導體製程的分析需求引導，學習奈米級檢測技術的整合運用，使修課學生深入了解與體驗奈米檢測技術的科學原理與在產業界的應用，同時培養解決問題的綜合能力。	2.專業知識之應用 3.自我充實的能力與技巧 4.清楚表達研究結果 5.問題分析與邏輯推理 6.相關產業分析能力	20 30 20 20 10	討論 講授 專題探討/製作	書面報告 測驗 口頭報告
授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習)
週次 授課內容 第1週 課程說明: 說明課程特色 / 課程講師介紹 / 教室規則 / 評量標準 / 分組說明 / 建立學習群組 / 小組名單 第2週 檢測分析技術概論: 半導體材料特性 / 淺談材料分析技術對半導體可靠度分析的重要性 第3週 原子力顯微鏡(AFM)分析技術: AFM技術原理與應用 第4週 掃描式電子顯微鏡(SEM): 奈米檢測技術發展現況 / SEM原理與應用 第5週 掃描式電子顯微鏡(SEM): SEM原理與應用 / EDS分析 第6週 穿透式電子顯微鏡(TEM): TEM原理、應用與樣品製備實務 第7週 穿透式電子顯微鏡(TEM): TEM原理、應用與樣品製備實務 第8週 電性掃描探針顯微鏡(E-SPM): E-SPM技術原理與應用 / SCM / C-AFM 第9週 二次離子質譜儀(SIMS)分析技術: SIMS分析技術在產業界的應用介紹 第10週 電性掃描探針顯微鏡(E-SPM): SCM / C-AFM 場感測掃描探針顯微鏡(FS-SPM): EFM / MFM / KPFM 第11週 PBL課程: 檢測技術整合應用 第12週 PBL課程: 檢測技術整合應用 第13週 PBL課程: 檢測技術整合應用 第14週 PBL課程: 檢測技術整合應用 第15週 PBL課程: 檢測技術整合應用 第16週 期末口試 自主學習 內容    02.閱覽產業及學術相關多媒體資料    03.製作專題報告
學習評量方式
修課人數 ＞ 21人，採以下方式: 期末考:　5０　% 學習報告：　5０　% 修課人數＜(=)21人，採小組口試方式評分，口試委員為所有課程講師: 多面向學習表現:　４０　% 期末口試: ４０　% 書面報告: 2０　%
教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明)
奈米檢測技術 (國家實驗研究院儀器科技研究中心出版) [勿使用非法影印教科書] 全華圖書股份有限公司
課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址）
由各授課老師提供。
課程輔導時間
視需要安排。

請尊重智慧財產權及性別平等意識，不得非法影印他人著作及受保護的電子檔案。
更新日期 西元年/月/日：2026/08/14 12:06:32	列印日期 西元年/月/日：2026 / 8 / 26
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