| 國立中興大學教學大綱 |
| 課程名稱 | (中) 奈米光電檢測技術(6057) | ||||||||
| (Eng.) Nano Optical and Electronic Testing and Measurement Technologies | |||||||||
| 開課單位 | 奈米科學所 | ||||||||
| 課程類別 | 選修 | 學分 | 3 | 授課教師 | 張茂男 | ||||
| 選課單位 | 半導體碩學程 / 碩士班 | 授課使用語言 | 中文 | 英文/EMI | 開課學期 | 1141 | |||
| 課程簡述 | 這是一門介紹奈米檢測技術的相關知識與原理，以及學習以奈米檢測技術分析製程問題的課程。本學期課程由半導體材料特性的簡介開始，搭配各項材料分析技術的說明，包括掃描探針顯微鏡技術、電子顯微鏡技術、光學繞射技術、質譜分析技術等四大類，可深入了解半導體材料檢測與分析技術對科技產業的重要性。在課程中，將安排我國尖端半導體產業與研究機構的資深主管進行專題講授與經驗分享；在課程後段，有機會進一步認識檢測產業的概況，是理論與實用兼具的課程。課程之修課人數如少於18人，將安排PBL課程，PBL課程細節將在上課第一週公布，以下課綱規劃為修課人數少於18人的安排。因應防疫需要，課程將機動配合防疫指引，採線上或實體方式授課，本學期請留意課程通知。 | ||||||||
| 先修課程名稱 | 課程含自主學習 | Y | |||||||
| 課程與核心能力關聯配比(%) | 課程目標之教學方法與評量方法 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 課程目標 | 核心能力 | 配比(%) | 教學方法 | 評量方法 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 藉由半導體製程的分析需求引導，學習奈米級檢測技術的整合運用，使修課學生深入了解與體驗奈米檢測技術的科學原理與在產業界的應用，同時培養解決問題的能力。 |
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| 授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 學習評量方式 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 修課人數 ＞ 18人，採以下方式: 期中考: ４０ % 期末考: ４０ % 學習報告： ２０ % 修課人數＜(=)18人，採小組口試方式評分，口試委員為所有課程講師: 自主學習評量: ４０ % 期末口試: ４０ % 書面學習報告: 2０ % |
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| 教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 奈米檢測技術 (國家實驗研究院儀器科技研究中心出版) [勿使用非法影印教科書] 全華圖書股份有限公司 |
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| 課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 由各授課老師提供。 |
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| 課程輔導時間 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 視需要安排。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 聯合國全球永續發展目標(連結網址) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 更新日期 西元年/月/日：無 | 列印日期 西元年/月/日：2025 / 7 / 03 |
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