國立中興大學教學大綱
課程名稱 (中) 半導體儀器分析之場發射顯微鏡檢測分析實作課程(7531)
(Eng.) Hand-on Course on Field Emission Microscopy Detection and Analysis in Semiconductor Instrumentation
開課單位 前瞻中心(研)
課程類別 選修 學分 0 授課教師 王雷 等
選課單位 不限系所 授課使用語言 中/英文 開課學期 1142
課程簡述 場發射顯微鏡原理及儀器基本操作使用
Principles of Field Emission Microscopy and Basic Instrument Operation
先修課程名稱
課程與核心能力關聯配比(%) 課程目標之教學方法與評量方法
課程目標 核心能力 配比(%) 教學方法 評量方法
本課程介紹掃描式電子顯微鏡(SEM)的儀器原理及其應用於材料化學組成、微結構之分析方法。期藉由本課程的修習讓學生充分了解各項設備的功能,進而活用於其研究工作。
This course introduces the principles of Scanning Electron Microscopy (SEM) and its applications in the analysis of material chemical composition and microstructure. By completing this course, students will gain a thorough understanding of the functionalities of various equipment, enabling them to effectively apply these tools in their research work.
專題探討/製作
參訪
其他
講授
書面報告
出席狀況
作品
實作
授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習)
週次 授課內容
第1週 掃描式電子顯微鏡(SEM)
- SEM儀器構造與成像原理
- 電子束與材料之作用
- 二次電子影像(SEI)
- 背向散射電子影像(BEI)
- X光能譜儀(EDS)
Scanning Electron Microscope (SEM)
-Structure and Imaging Principles of SEM Instruments
-Interaction of Electron Beam with Materials
-Secondary Electron Imaging (SEI)
-Backscattered Electron Imaging (BEI)
-X-ray Spectroscopy (EDS)
第2週
第3週
第4週
第5週
第6週
第7週
第8週
第9週
第10週
第11週
第12週
第13週
第14週
第15週
第16週
自主學習
內容
   01.參與專業論壇、講座、企業分享等產官學研相關交流活動
   03.製作專題報告

學習評量方式
Attendance and Project Report
教科書&參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明)

課程教材(教師個人網址請列在本校內之網址)

課程輔導時間

聯合國全球永續發展目標(連結網址)
提供體驗課程:N
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更新日期 西元年/月/日:2026/01/15 10:49:05 列印日期 西元年/月/日:2026 / 5 / 06
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