| 課程與核心能力關聯配比(%) |
課程目標之教學方法與評量方法 |
| 課程目標 |
核心能力 |
配比(%) |
教學方法 |
評量方法 |
| 了解半導體製程及超大型積體電路尖端製造技術，以做為相關研究或就業的基礎.After taking this course, students will familiar with common semiconductor terminology, a basic IC fabrication sequence and each process step, which can be as a basis for related research or employment. |
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| 授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習) |
| 週次 |
授課內容 |
| 第1週 |
Semiconductor Physics and Devices |
| 第2週 |
Evolution of IC Industry |
| 第3週 |
Overview of IC Fabrication |
| 第4週 |
Introduction to Clean Room |
| 第5週 |
Crystal Growth |
| 第6週 |
國慶日 |
| 第7週 |
Epitaxy |
| 第8週 |
Photolithography |
| 第9週 |
Advanced Photolithography |
| 第10週 |
Oxidation |
| 第11週 |
Thin Film Deposition |
| 第12週 |
Etching |
| 第13週 |
Diffusion |
| 第14週 |
Ion implantation |
| 第15週 |
Midterm Exam |
| 第16週 |
期末報告A
期末報告B
期末報告C |
自主學習
內容 |
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| 學習評量方式 |
| 作業、期中考、口頭報告、書面報告 |
| 教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明) |
教科書
C.Y. Chang & S.M.Sze:ULSI Technology McGraw-Hill Companies,Inc.
參考書
Xiao :Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology |
| 課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址） |
| 自編講義(iLearning3.0) |
| 課程輔導時間 |
Tuesday 10:00-12:00, Thursday 14:00-16:00
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| 聯合國全球永續發展目標(連結網址) |
| 07.可負擔能源 08.就業與經濟成長 09.工業、創新基礎建設 | 提供體驗課程：N |
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