國立中興大學教學大綱

課程名稱	(中) 奈米製程(7789)
	(Eng.) Processing of Nanomaterials
開課單位	材料系
課程類別	選修			學分	3	授課教師	薛涵宇
選課單位	材料系 / 碩專班			授課使用語言	中文	英文/EMI		開課學期	1142
課程簡述	本課程為材料系研究所選修課程，旨在介紹各種奈米尺度下之材料合成方法，分為需要溶劑環境下進行的濕式製程，與真空環境下進行的乾式製程，本課程涵蓋內容廣泛，非常適合跨系所與跨領域的同學修讀。上課除了教授教科書所含的內容外，會額外大量補充本人之研究經驗與相關理論內容，此外，亦會補充業界所使用的工法與產品，讓學生在學習理論基礎的同時也會了解業界相關脈動。
先修課程名稱

課程與核心能力關聯配比(%)			課程目標之教學方法與評量方法
課程目標	核心能力	配比(%)	教學方法	評量方法
學習基礎材料化學知識與了解先進奈米製程			網路/遠距教學 習作 討論 講授	出席狀況 實作 其他
授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習)
週次 授課內容 第1週 Introduction of Nanotechnology 第2週 Self-Assembly, Nucleation and Growth (I) 第3週 Self-Assembly, Nucleation and Growth (II) 第4週 Sol-gel reaction (I) 第5週 Sol-gel reaction (II) 第6週 Electrodeposition & electroless plating 第7週 Optical projection lithography (I) 第8週 Optical projection lithography (II) 第9週 Mid-term exam 第10週 Charged Beams Lithography 第11週 Nanofabrication by Scanning Probes 第12週 Nanofabrication by Replication 第13週 Pattern Transfer 第14週 PVD 第15週 CVD 第16週 ALD Final exam 自主學習 內容
學習評量方式
期中考一次(35%)，期末考一次(35%)，出席率(30%)
教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明)
1. Nanofabrication: Principles, Capabilities and Limits by Cui, Zheng 2. Nanostructures and Nanomaterials: Synthesis, Properties, and Applications by Guozhong Cao & Ying Wang
課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址）
上傳至ilearning3
課程輔導時間
與老師另外約時間
聯合國全球永續發展目標(連結網址)
提供體驗課程：N

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更新日期 西元年/月/日：無	列印日期 西元年/月/日：2026 / 1 / 09
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