國立中興大學教學大綱

課程名稱	(中) 微電子製造技術(6849)
	(Eng.) Manufacturing Technology of Microelectronics
開課單位	化工系
課程類別	選修			學分	3	授課教師	石健忠
選課單位	化工系 / 碩士班			授課使用語言	中文	開課學期	1151
課程簡述	本課程介紹微電子製造之基本原理、材料與製程技術。內容涵蓋半導體材料與元件基礎、晶圓製造、薄膜沉積、氧化與擴散、微影、蝕刻、摻雜、金屬化與互連等主要製程。課程亦將適度導入先進半導體技術與產業發展，使學生了解微電子製造技術之現況與未來趨勢。
先修課程名稱

課程與核心能力關聯配比(%)			課程目標之教學方法與評量方法
課程目標	核心能力	配比(%)	教學方法	評量方法
課程目的在培養微電子製造技術的整體理解，同時透過先進製程與產業技術之介紹，掌握微電子技術的發展方向，讓學生具備未來從事半導體、電子材料及相關領域研究與工作的基礎。	1.強化專業研究領域知識與技巧 2.撰寫科技論文及發表專題演講之能力 3.策劃、執行創新思考及解析專題研究之能力 4.跨領域學習整合之能力 5.謹守學術倫理之原則、增廣國際視野	30 10 20 30 10	講授	書面報告 出席狀況 口頭報告 測驗
授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習)
週次 授課內容 第1週 Introduction to microelectronics manufacturing 第2週 Semiconductor materials 第3週 Fundamentals of semiconductor devices 第4週 Thermal oxidation and thermal processing 第5週 Photolithography 第6週 Diffusion and ion implantation 第7週 Wet and dry etching 第8週 Dielectric thin films and chemical vapor deposition 第9週 Metallization and interconnects 第10週 Advanced semiconductor devices and fabrication 第11週 FinFET technology and process integration 第12週 Materials characterization for semiconductor manufacturing 第13週 Emerging trends in semiconductor manufacturing 第14週 Final presentation 第15週 Final presentation 第16週 Final exam 自主學習 內容    02.閱覽產業及學術相關多媒體資料    03.製作專題報告
學習評量方式
考試 (30%) 期末報告 (50%) 出席狀況 (20%)
教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明)
Michael Quirk and Julian Serda, Semiconductor Manufacturing Technology, Prentice Hall, 2001 吳永俊、孫崇哲、顏孝丞，半導體製程與整合
課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址）
https://lms2020.nchu.edu.tw/course/47270
課程輔導時間

請尊重智慧財產權及性別平等意識，不得非法影印他人著作及受保護的電子檔案。
更新日期 西元年/月/日：2026/08/31 19:10:20	列印日期 西元年/月/日：2026 / 10 / 05
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