國立中興大學教學大綱
課程名稱 (中) 奈米加工技術(6854)
(Eng.) Nano Fabrication Technology
開課單位 精密所
課程類別 選修 學分 3 授課教師 楊錫杭
選課單位 精密所 / 碩士班 授課使用語言 中文 開課學期 1151
課程簡述 This course aims to understand subjects related to nanofabrication technologies including their theories, processing and applications. Main contents include nanolithology, nano-particles beams machining, nano-probes and metrology etc. Through these advanced technologies, recent industrial applications may be introduced for emerging products.
先修課程名稱
課程與核心能力關聯配比(%) 課程目標之教學方法與評量方法
課程目標 核心能力 配比(%) 教學方法 評量方法
Study some nanofabrication technologies
1.運用數學、科學及製程工程知識能力
2.設計、執行實驗、分析數據及撰寫論文能力
3.整合製程、元件與系統設計、實作及產品設計能力
5.具備精密工程及微系統技術之創新思考、解決問題與國際視野能力
30
20
30
20
專題探討/製作
講授
測驗
書面報告
口頭報告
授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習)
週次 授課內容
第1週 Introduction to Nanotechnology
第2週 Nanosyrems and molecular mechanics
第3週 Nano electron beam lithography
第4週 Near Field Optical lithography
第5週 Scanning probe microscopy machining
第6週 Atomic force microscopy machining process
第7週 Focused ion beam machining
第8週 Nano-imprinting
第9週 Mid-term exam.
第10週 Nano-electroforming technology
第11週 Carbon nano-tubes fabrication and applications
第12週 Nano-energy technology
第13週 Nano-biotechnology
第14週 Nano networking
第15週 Technical writing
第16週 Final Exam Project presentation Project presentation
自主學習
內容

學習評量方式
Exam.(60%), Assignment and report(30%), Attendance(10%)
教科書&參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明)
Textbook:
1. Lecture’s handout sent by email

References:
1. K.E. Drexler, Nanosystems: molecular machinery, manufacturing, and computation, Wiley Interscience, 1992.
2. Nanotechnology, a journal published by Institute of Physics.
3. Nano Letters, a journal published by American Chemical Society
課程教材(教師個人網址請列在本校內之網址)
Lecture’s handout sent by email
課程輔導時間
Tuesday 15:00-17:00, Thu 8:00-10:00AM
請尊重智慧財產權及性別平等意識,不得非法影印他人著作。
更新日期 西元年/月/日:無 列印日期 西元年/月/日:2026 / 7 / 27
MyTB教科書訂購平台:http://www.mytb.com.tw/