| 課程與核心能力關聯配比(%) |
課程目標之教學方法與評量方法 |
| 課程目標 |
核心能力 |
配比(%) |
教學方法 |
評量方法 |
| This course focuses on the understanding, operation, and selection of equipment for processes used in semiconductor, optics, renewable energy, and related emerging technologies. |
| 1.特定材料之專業知識 |
| 2.策劃及執行專題研究之能力 |
| 3.撰寫專業論文之能力 |
| 4.創新思考、解決問題與終身學習之能力 |
| 5.跨領域協調整合之能力 |
| 6.國際觀及綠色材料知識 |
| 7.領導、管理及規劃之能力 |
| 8.學術專業倫理 |
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| 授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習) |
| 週次 |
授課內容 |
| 第1週 |
Vacuum technology |
| 第2週 |
Pressure gauges |
| 第3週 |
Gas properties |
| 第4週 |
Pumping speed |
| 第5週 |
Mechanical pumps |
| 第6週 |
Turbomolecular pumps |
| 第7週 |
Gas release from solids |
| 第8週 |
Midterm exam |
| 第9週 |
Cryogenic pumps |
| 第10週 |
Diffusion pumps |
| 第11週 |
Getter and ion pumps |
| 第12週 |
Materials in vacuum |
| 第13週 |
Rough vacuum pumping |
| 第14週 |
Paper download and prepare report (pptx format) |
| 第15週 |
Controlling contamination in vacuum systems, Leak detection |
| 第16週 |
Final exam |
自主學習
內容 |
03.製作專題報告
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| 學習評量方式 |
| Midterm exam (30%), Final exam (30%), Quiz (10%), Report (30%). |
| 教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明) |
Textbook: A user’s guide to vacuum technology, 4th ed., J. F. O’Hanlon and T. A. Gessert, John Wiley and Sons, (2024). 華通書坊 (03-5720317).
Reference book: Vacuum technology, 3rd ed., A. Roth, Elsevier Science Publishers
B. V., (1990). Physics Library.
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| 課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址） |
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| 課程輔導時間 |
| Wednesday afternoon 2-4pm. |