國立中興大學教學大綱

課程名稱	(中) 微機電製程設計(6841)
	(Eng.) Design of Microfabrication Processes for MEMS
開課單位	精密所
課程類別	選修			學分	3	授課教師	林明澤
選課單位	精密所 / 碩士班			授課使用語言	英文	英文/EMI	Y	開課學期	1132
課程簡述	The goal of this course is to give students advanced knowledge of microfabrication processes specific in MEMS Design, including fundamental design, processes strategy for different applications, packaging techniques and so on.
先修課程名稱								課程含自主學習	N

課程與核心能力關聯配比(%)			課程目標之教學方法與評量方法
課程目標	核心能力	配比(%)	教學方法	評量方法
1. The goal of this course is to give students advanced knowledge of microfabrication processes	1.運用數學、科學及製程工程知識能力 2.設計、執行實驗、分析數據及撰寫論文能力 3.整合製程、元件與系統設計、實作及產品設計能力 4.具備領導、管理、溝通協調及專案規劃管理之能力與團隊合作之精神 5.具備精密工程及微系統技術之創新思考、解決問題與國際視野能力	20 20 20 20 20	專題探討/製作 習作 講授	出席狀況 口頭報告 作品 作業 書面報告 測驗
授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共18週)
週次 授課內容 第1週 1. MEMS Overview 第2週 1. MEMS Overview 第3週 2. Fundamentals of Microfabrication technologies 第4週 2. Fundamentals of Microfabrication technologies 第5週 3. Silicon-based Micromachining technologies 第6週 3. Silicon-based Micromachining technologies 第7週 4. LIGA Micromachining Technologies 第8週 4. LIGA Micromachining Technologies 第9週 5. Precision Micromachining Technologies 第10週 5. Precision Micromachining Technologies 第11週 6. Packaging Technologies 第12週 6. Packaging Technologies 第13週 7. Microfabrication processes design of MEMS 第14週 7. Microfabrication processes design of MEMS 第15週 8. Case Study 第16週 8. Case Study 第17週 self study 第18週 seif study
學習評量方式
Homework and class discussion 20% Presentation and term paper 25% Mid-Term 25% Final 30%
教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明)
Fundamentals of Microfabrication 2nd ed. Marc J. Madou Microsensors MEMS and Smart Devices Julian W. Gardner et. al. 微機電系統技術與應用 國科會精密儀器中心 微系統封裝原理與技術 秋碧秀 滄海書局
課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址）
課程輔導時間
聯合國全球永續發展目標(連結網址)
01.消除貧窮   04.教育品質   05.性別平等   08.就業與經濟成長   09.工業、創新基礎建設 提供體驗課程：N

請尊重智慧財產權及性別平等意識，不得非法影印他人著作。
更新日期 西元年/月/日：2025/02/19 14:42:40	列印日期 西元年/月/日：2025 / 3 / 14
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