| 國立中興大學教學大綱 |
| 課程名稱 | (中) 電子能譜表面分析(6830) | ||||||||
| (Eng.) Surface Analysis by XPS and AES | |||||||||
| 開課單位 | 材料系 | ||||||||
| 課程類別 | 選修 | 學分 | 3 | 授課教師 | 張立信 | ||||
| 選課單位 | 材料系 / 碩士班 | 授課使用語言 | 中文 | 英文/EMI | N | 開課學期 | 1042 | ||
| 課程簡述 | (中) 材料之化學組成是研究材料者必備的基礎資訊。電子能譜儀，包括X光光電子能譜儀(XPS)與歐傑電子能譜儀(AES)，是分析材料表面成分與鍵結所不可或缺的工具。本課程將教授以電子能譜儀分析材料表面成份所需具備的知識。使學生習得電子能譜儀之基礎概念、設計、功能、定性定量分析、化學組態詮釋、縱深分佈與應用實例等。 (Eng) The composition of a material is the basic information for a material researcher. The electron spectroscopy including the X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and the Auger electron spectroscopy (AES) is an essential tool for surface compositional analysis. In this course, the fundamental knowledge for surface analysis by XPS and AES is taught. Students learn the basic concepts, design, functions, qualitative and quantitative analysis, chemical state interpretation, depth profiling and application examples of the electron spectroscopy. |
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| 先修課程名稱 | 課程含自主學習 | N | |||||||
| 課程與核心能力關聯配比(%) | 課程目標之教學方法與評量方法 | ||||||||||||||
| 課程目標 | 核心能力 | 配比(%) | 教學方法 | 評量方法 | |||||||||||
| 1. 具備XPS, AES, SAM之基礎概念 To possess the basic concepts of XPS, AES and SAM 2. 認識真空環境、X光源、電子槍、分析器、偵測器等設計 To know the designs of vacuum environment, X-ray source, E-gun, analyzer, detector 3. 了解小角度XPS、XPS成像、解析度、角度解析XPS等功能 To understand the functions of small-angle XPS, XPS imaging, resolution and angle-resolved XPS 4. 了解成分定性與定量分析、化學組態詮釋 To understand qualitative, quantitative analysis and chemical state interpretation 5. 了解非破壞縱深分析、濺擊縱深分析與機械分區 To understand non-destructive depth-profiling, sputtering depth-profiling and mechanical sectioning 6. 學習應用實例，包括冶金、腐蝕、陶瓷觸媒、微電子與高分子 To study application examples including metallurgy, corrosion, ceramic catalysis, microelectronics and polymer |
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| 授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共18週) | |||||||||||||||
| 週次 單元名稱與內容 習作/考試進度 (week) (subject and content) (homework and tests) 01 (02/25) 課程簡介Course Introduction 02 (03/03) 基礎概念Basic Concepts 03 (03/10) 能譜儀設計Spectrometer Designs 04 (03/17) 能譜儀功能Spectrometer Functions Homework 1 05 (03/24) 定性分析Qualitative Analysis On-site visit 06 (03/31) 休假 Vacation 07 (04/07) 定量分析Quantitative Analysis Homework 2 08 (04/14) 作業檢討Homework Review 09 (04/21) 期中考Midterm 10 (04/28) 化學組態Chemical State Interpretation 11 (05/05) 縱深分析Depth Profiling 12 (05/12) 縱深分析Depth Profiling Homework 3 13 (05/19) 應用實例Application Examples On-site visit 14 (05/26) 應用實例Application Examples 15 (06/02) 應用實例Application Examples 16 (06/09) 應用實例Application Examples Homework 4 17 (06/16) 作業檢討Homework Review 18 (06/23) 期末報告Final Report |
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| 學習評量方式 | |||||||||||||||
| (中) 1. 學期成績計算項目及權重標準如下： A. 期末報告 30% B. 期中考試 30% C. 課後作業 40% 2. 期末報告： 期末報告配合學校時程舉辦。題目則需與電子能譜表面分析相關。報告規定如附件。 3. 期中考試： 期中考試配合學校時程舉辦。期中考試內容包含規定教科書範圍與補充講授內容。 4. 課後作業： 課後定期將指定練習題數題，要求學生完成，並於期考前一週於課堂討論。 |
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| 教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明) | |||||||||||||||
| Textbook: An Introduction to Surface Analysis by XPS and AES, J. F. Watts and J. Wohlstenholme, Wiley, 2003 (興大電子書 NetLibrary) References: 1. Auger- and X-Ray Photoelectron Spectroscopy in Materials Science - A User-Oriented Guide, S. Hofmann, Springer, 2012 2. Surface Analysis - The Principal Techniques, 2nd ed., edited by J.C. Vickerman, I.S. Gilmore, Wiley, Singapore, 2009 3. 材料表面科學, 曹立礼, 清華大學出版社,北京, 2007 4. Fundamentals of Nanoscale Film Analysis, T.L. Alford, L.C. Feldman, J.W. Mayer, Springer, USA, 2007 5. Surface Analysis Methods in Materials Science, edited by D.J. O’Connor, B.A. Sexton and R.St.C. Smart, Springer, 1992 |
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| 課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址） | |||||||||||||||
| http://www.mse.nchu.edu.tw/p1.asp?uno=6 http://web.nchu.edu.tw/~lschang/ |
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| 課程輔導時間 | |||||||||||||||
| 每週四16:00~17:00 | |||||||||||||||
| 聯合國全球永續發展目標 | |||||||||||||||
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| 請尊重智慧財產權及性別平等意識，不得非法影印他人著作。 | |
| 更新日期 西元年/月/日：無 | 列印日期 西元年/月/日：2025 / 1 / 01 |
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