國立中興大學教學大綱
課程名稱 (中) 真空系統概論(4313)
(Eng.) Introduction to Vacuum System
開課單位 機械系
課程類別 選修 學分 3 授課教師 盧銘詮
選課單位 機械系 / 學士班 授課使用語言 中文 英文/EMI 開課學期 1101
課程簡述 此課程之內容將包含真空系統的介紹、氣體在真空下的基本性質、真空環境氣體在固體表面特性、真空幫浦的特性、真空量測之特性、真空元件以及真空電漿系統之應用案例討。
The content of this course will include the introduction to the fundamental theory of vacuum, components for the vacuum system integration, and the application of vacuum plasma in semiconductor industry. The chapters will include the gas property, gas on solid surface, vacuum pumps, vacuum measurement, vacuum material selection, and the vacuum plasma application to semiconductor industry.
先修課程名稱
課程含自主學習 N
課程與核心能力關聯配比(%) 課程目標之教學方法與評量方法
課程目標 核心能力 配比(%) 教學方法 評量方法
使學生了解真空系統分析,設計原理及各種真空元件之特性與應用,建立學生在真空系統應用之基礎。
Let students understand the basic characteristics of vacuum system and components to have the basic skill for working with vacuum system in industry.
1.運用數學、科學及機械工程知識之能力。
2.設計與執行實驗及分析數據之能力。
3.具有計畫管理、團隊合作並能設計、製作機械工程系統之能力。
4.具人文素養並能認識時事議題、瞭解科學與工程技術對社會及全球之影響。
5.培養學生自我學習之能力。
6.認知機械工程人員之專業倫理與社會責任。
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講授
網路/遠距教學
參訪
測驗
出席狀況
授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共18週)
週次 授課內容
第1週 放假 (Holiday)
第2週 1.真空系統與應用介紹(Introduction to Vacuum and applications)
第3週 2.真空電漿系統簡介(Introduction to Vacuum Plasma System)
第4週 放假 (Holiday)
第5週 3. 氣體基本性質(Gas Property)
第6週 4.氣流、氣導與氣體的吸附和放出(Gas Release from Solids)
第7週 4.氣流、氣導與氣體的吸附和放出(Gas Release from Solids)
第8週 5. 機械真空幫浦與抽氣效率(Mechanical Vacuum Pump and Pumping Speed)
第9週 5. 機械真空幫浦與抽氣效率(Mechanical Vacuum Pump and Pumping Speed)
第10週 真空設備參觀與解說(Equipment Visit)
第11週 期中考(Midterm Exam.)
第12週 6. 高真空幫浦 (High Vacuum Pump)
第13週 7. 真空量測元件與測漏 (Vacuum Gauge and Leaking Test)
第14週 7.真空量測元件與測漏 (Vacuum Gauge and Leaking Test)
第15週 8.真空材料與元件 (Material and Device for Vacuum)
第16週 8.真空材料與元件 (Material and Device for Vacuum)
第17週 9.電漿與真空系統應用(Vacuum Plasma and the Application of Vacuum System)
第18週 期末考 (Final Exam. )
學習評量方式
課堂參與:10%
期中考試:40%
學期考試:50%
教科書&參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明)
參考書目:
1.John F.O’Hanlon, A User’s Guide to Vacuum Technology, John Wiley & sons,
Inc., 2003.
2.Marsbed H.Hablanian,High Vacuum Technology,A practical guide,CRC Press, 1997.
3.“真空技術與應用”精密儀器發展中心, 2001.
課程教材(教師個人網址請列在本校內之網址)
Ilearning 3
課程輔導時間
星期一 17:10~18:00
聯合國全球永續發展目標(連結網址)
 提供體驗課程:N
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更新日期 西元年/月/日:2021/09/26 17:49:02 列印日期 西元年/月/日:2025 / 5 / 13
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