國立中興大學教學大綱

課程名稱	(中) 表面物理(一)(6621)
	(Eng.) Surface Science and Technology(I)
開課單位	物理系
課程類別	選修			學分	3	授課教師	何孟書
選課單位	物理系 / 碩士班			授課使用語言	中/英文	開課學期	1151
課程簡述	表面科學在奈米科學與技術中是一個基礎且重要的研究課題。本課程將介紹表面科學的原理與技術。In the field of nanoscience and technology, surface science is a fundamental and essential research topic. This course will introduce the principles and techniques of surface science.
先修課程名稱

課程與核心能力關聯配比(%)			課程目標之教學方法與評量方法
課程目標	核心能力	配比(%)	教學方法	評量方法
In terms of fundamental principles, the course will cover topics such as surface crystal structures, surface reconstruction and desorption effects, surface electronic states, surface chemical composition, surface diffusion, surface activation energy, work functions, gas adsorption and desorption equilibria, viscosity coefficients, properties and forces of atomic or molecular adsorption on surfaces, surface thin films, surface self-assembly mechanisms, and various techniques for surface property analysis.	1.專業知能 2.自我充實的能力與技巧 3.能清楚表達研究結果 4.問題分析與邏輯推理	40 10 30 20	討論 習作 講授 專題探討/製作	作業 口頭報告 書面報告
授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習)
週次 授課內容 第1週 Introduction to Surface Science On the technical side, we will discuss vacuum technology, surface analytical instruments, and their analytical methods, including scanning probe microscopy, field ion microscopy, low-energy electron diffraction, Auger electron spectroscopy, photoelectron spectroscopy, secondary ion mass spectrometry, and make comparisons with conventional methods for studying material properties. 第2週 Understanding nanoscience and surface science analytical instruments 第3週 UHV(ultra-high-vacuum) techniques atomic-scale structure and defects 第4週 microscopic v.s. nanoscopic 第5週 XRD: X-ray diffraction 第6週 Surface scattering 第7週 LEED(low energy electron diffraction) 第8週 RHEED: Reflection high energy electron diffraction 第9週 midterm presentation 第10週 Medium energy electron diffraction 第11週 HEIS: High energy ion scattering ISS: Ion scattering spectroscopy 第12週 UPS: Ultraviolet photoelectron/photoemission spectroscopy 第13週 AES: Auger electron spectroscopy 第14週 SIMS: Secondary ion mass spectrometry 第15週 ESCA: Electron spectroscopy for chemical analysis (same as XPS) 第16週 EELS: Electron energy loss spectroscopy (same as ELS) CVD: Chemical vapor deposition MOCVD: Metal-organic chemical vapor deposition Final exam 自主學習 內容    01.參與專業論壇、講座、企業分享等產官學研相關交流活動    03.製作專題報告    05.參與本校各單位舉辦之各類工作坊活動
學習評量方式
midterm 20% presentation (about surface analysis) 25% report 1 15% presentation 2 (project) 25% report 2 15%
教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明)
notes
課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址）
課程輔導時間
Mon. 1-2pm, Tue. 9-12am or by appointment

請尊重智慧財產權及性別平等意識，不得非法影印他人著作及受保護的電子檔案。
更新日期 西元年/月/日：無	列印日期 西元年/月/日：2026 / 8 / 26
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