| 課程與核心能力關聯配比(%) |
課程目標之教學方法與評量方法 |
| 課程目標 |
核心能力 |
配比(%) |
教學方法 |
評量方法 |
| 使學生熟悉微機電系統之製程技術、基本原理、構造與操作方式，可以應用微機電技術設計製作生物機電微元件。 |
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| 授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習) |
| 週次 |
授課內容 |
| 第1週 |
課程介紹 |
| 第2週 |
積體電路製程介紹 |
| 第3週 |
半導體基礎 |
| 第4週 |
晶圓製造 |
| 第5週 |
加熱製程 |
| 第6週 |
微影製程 |
| 第7週 |
電漿製程 |
| 第8週 |
期中考週 |
| 第9週 |
離子佈植製程 |
| 第10週 |
蝕刻製程 |
| 第11週 |
化學氣相沉積與介電質薄膜 |
| 第12週 |
金屬化製程 |
| 第13週 |
化學機械研磨製程 |
| 第14週 |
半導體製程整合 |
| 第15週 |
半導體製程整合 |
| 第16週 |
期末考週
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自主學習
內容 |
03.製作專題報告
Self-learning, creating a project on MEMS
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| 學習評量方式 |
| 期中考: 30%、期末考: 30%、專題報告: 20%、作業與平時表現: 20% |
| 教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明) |
教科書：
1. 蕭宏著。半導體製程技術導論(第四版)，全華圖書，2024。
2. Gardner著，溫榮弘編譯。微機電元件，滄海圖書，2005。
參考書:
1. Gardner, Julian W., Vijay K. Varadan, and Osama O. Awadelkarim. Microsensors, MEMS, and smart devices. John Wiley & Sons, Inc., 2003.
2. 何昆哲等著。半導體原理與製程概論，全華圖書，2024。
3. 莊達人著。VLSI 製造技術，高立圖書有限公司，2002。 |
| 課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址） |
| i-Learning |
| 課程輔導時間 |
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| 聯合國全球永續發展目標(連結網址) |
| 04.教育品質 08.就業與經濟成長 09.工業、創新基礎建設 11.永續城市 | 提供體驗課程：N |
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