| 課程與核心能力關聯配比(%) |
課程目標之教學方法與評量方法 |
| 課程目標 |
核心能力 |
配比(%) |
教學方法 |
評量方法 |
| 本課程講授重點為半導體業之金屬薄膜(包括各種主要金屬與貴金屬)鍍膜原理、製程、應用及資源再生循環技術。 |
| 1.基礎專業知能 |
| 2.專業知識之應用 |
| 3.自我充實的能力與技巧 |
| 5.問題分析與邏輯推理 |
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| 授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習) |
| 週次 |
授課內容 |
| 第1週 |
課程介紹/評分標準 |
| 第2週 |
半導體金屬薄膜技術之概述
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| 第3週 |
電晶體原理
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| 第4週 |
真空科學與技術
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| 第5週 |
物理氣相沉積：熱蒸鍍
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| 第6週 |
物理氣相沉積：濺鍍
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| 第7週 |
物理氣相沉積：離子束及其他技術
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| 第8週 |
化學氣相沉積 |
| 第9週 |
期中考(筆試) |
| 第10週 |
金屬薄膜特性
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| 第11週 |
靶材製造及冶金概論
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| 第12週 |
銅、鋁靶材冶金及再生技術
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| 第13週 |
鈦、鎢靶材冶金及再生技術
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| 第14週 |
鎳、鉭靶材冶金及再生技術
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| 第15週 |
貴金屬靶材冶金及再生技術
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| 第16週 |
期末報告 |
自主學習
內容 |
03.製作專題報告
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| 學習評量方式 |
(1)期中測驗(35%)：期中進行測驗，了解同學課程學習效果作為修正之參考。
(2)期末報告(50%)：目的引導同學對課程應用於金屬材料提煉與再生領域之認知。
(3)平常表現(15%)：了解同學平日上課學習情況與表現。
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| 教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明) |
1. Materials Science of Thin Films - Deposition and Structure, M. Ohring, Academic Press, 2nd Edition, 2001
2.Priciples of Extractive Metallurgy, Fathi Habashi, John Wiley & Sons Inc., 1997
3.冶金學概論，郁仁貽，徐氏基金會出版
4.授課教師自行編寫之講義
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| 課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址） |
| 自編講義 |
| 課程輔導時間 |
| Email預約 |
| 聯合國全球永續發展目標(連結網址) |
| 07.可負擔能源 09.工業、創新基礎建設 12.責任消費與生產 | 提供體驗課程：N |
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