| 課程與核心能力關聯配比(%) |
課程目標之教學方法與評量方法 |
| 課程目標 |
核心能力 |
配比(%) |
教學方法 |
評量方法 |
| 使學生熟悉微機電系統之製程技術、基本原理、構造與操作方式，可以應用微機電技術設計製作生物機電微元件。 |
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| 授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共18週) |
| 週次 |
授課內容 |
| 第1週 |
Introduction |
| 第2週 |
Physical Vapor Deposition |
| 第3週 |
Chemical Vapor Deposition |
| 第4週 |
Lithography |
| 第5週 |
Etching |
| 第6週 |
Doping |
| 第7週 |
Silicon Micromachining: Bulk |
| 第8週 |
Silicon Micromachining: Surface |
| 第9週 |
Midterm Exam |
| 第10週 |
Microsystem Technology Application |
| 第11週 |
Techniques of Microsystem Technology |
| 第12週 |
Microactuators |
| 第13週 |
Microsensors |
| 第14週 |
Application of MEMS in Bio-Mechatronics |
| 第15週 |
Application of MEMS in Bio-Mechatronics |
| 第16週 |
Final Exam |
| 第17週 |
Self-learning, creating a project on MEMS |
| 第18週 |
Self-learning, creating a project on MEMS |
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| 學習評量方式 |
| 期中考: 30%、期末考: 30%、作業與報告: 20%、平時表現: 20% |
| 教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明) |
教科書：
1.Gardner著，溫榮弘編譯。微機電元件，滄海圖書，2005。
2.蕭宏著。半導體製程技術導論(第四版)，全華圖書，2024。
參考書:
1.Gardner, Julian W., Vijay K. Varadan, and Osama O. Awadelkarim. Microsensors, MEMS, and smart devices. John Wiley & Sons, Inc., 2003.
2.何昆哲等著。半導體原理與製程概論，全華圖書，2024。
3.莊達人著。VLSI 製造技術，高立圖書有限公司，2002。 |
| 課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址） |
| i-Learning |
| 課程輔導時間 |
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| 聯合國全球永續發展目標(連結網址) |
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