| 國立中興大學教學大綱 |
| 課程名稱 | (中) 半導體工業中的薄膜技術(2902) | ||||||||
| (Eng.) Thin Film Technology in the Semiconductor Industry | |||||||||
| 開課單位 | 科教中心 | ||||||||
| 課程類別 | 選修 | 學分 | 0 | 授課教師 | 吳秋賢 等 | ||||
| 選課單位 | 不限系所 | 授課使用語言 | 中文 | 開課學期 | 1142 | ||||
| 課程簡述 | 本課程主要介紹近年來半導體元件製造過程中的其中一項技術-薄膜，這課程希望讓修過同學可以透過此課程瞭解薄膜的成長機制和技術。課程將會介紹薄膜成長方法和原理，薄膜檢測方法及參與實作。 | ||||||||
| 先修課程名稱 | |||||||||
| 課程與核心能力關聯配比(%) | 課程目標之教學方法與評量方法 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 課程目標 | 核心能力 | 配比(%) | 教學方法 | 評量方法 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 本課程旨在引導學生掌握半導體製程核心技術。初期聚焦薄膜成長機制與物理/化學原理之講解，建立紮實的科學基礎；中期轉向各種薄膜生長技術之應用比較與精密檢測方法論；後期則安排三階段進階式實作課程，強化學生的動手能力，確保學生能將工程理論轉化為具體的製程操作經驗。 |
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| 授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 學習評量方式 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 書面報告 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 自編講義 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 自編講義 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 課程輔導時間 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 另與授課老師約時間 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 聯合國全球永續發展目標(連結網址) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 更新日期 西元年/月/日：2026/04/17 11:02:35 | 列印日期 西元年/月/日：2026 / 5 / 06 |
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