國立中興大學教學大綱
課程名稱 (中) 磊晶工程(6981)
(Eng.) Epitaxy Engineering
開課單位 半導體碩學程
課程類別 選修 學分 3 授課教師 劉柏良
選課單位 精密所 / 碩士班 授課使用語言 中文 開課學期 1142
課程簡述 課程概述與目標: 本課程講述磊晶工程重要知識,由真空技術、氣體傳輸安全、薄膜生長機制、古典熱力學介紹、薄膜之熱力性質分析、Birch-Murnaghan狀態函數介紹及擴散原理與應用循序漸進介紹磊晶工程,本課程為以課堂授課為主。This course introduces the important knowledge of Epitaxy Engineering. Vacuum technology, gas transmission safety, thin film growth mechanism, introduction to classical thermodynamics, analysis of thin film thermal characteristics, introduction to Birch-Murnaghan state function, diffusion principle and application are stated in detail. The objective of this course is to establish the basic knowledge of materials science for the students and to further connect the knowledge to related future researches. This course is a lecture-oriented course.
磊晶工程課程與聯合國全球永續發展目標(Sustainable Development Goals, SDGs)之目標4、7、9、11及12相關,列述如下:
目標9:產業、創新和基礎設施:磊晶工程是先進製造和材料科學的重要組成部分,對於促進持續的工業化和技術創新非常關鍵。這門課程通過提供專業知識和技能,支持這一目標。
目標12:負責任的消費和生產:磊晶技術在提高材料和能源效率方面扮演著重要角色,特別是在高效能電子元件和能源轉換材料的開發中。這有助於促進更為可持續的生產和消費模式。
目標7:負擔得起的乾淨能源:透過磊晶技術,可以開發出更高效的太陽能電池和其他可再生能源技術,從而支持乾淨能源的發展。
目標11:可持續城市和社區:高效和先進的材料科學,包括磊晶技術,對於發展更持久和能源效率更高的建築材料和城市基礎設施至關重要。
目標4:優質教育:磊晶工程課程提供了專業知識和技術訓練,有助於實現包容和優質教育的目標,特別是在科學和工程教育領域。
先修課程名稱
課程與核心能力關聯配比(%) 課程目標之教學方法與評量方法
課程目標 核心能力 配比(%) 教學方法 評量方法
使學生瞭解磊晶技術之基本原理及應用
1.運用數學、科學及製程工程知識能力
2.設計、執行實驗、分析數據及撰寫論文能力
50
50
討論
講授
書面報告
出席狀況
作業
測驗
授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習)
週次 授課內容
第1週 磊晶工程介紹/ Course Introduction 第1周/ Wk 1.
第2週 真空技術I/Vacuum technology I 第2周/ Wk 2.
第3週 真空技術II/Vacuum technology II 第3周/ Wk 3.
第4週 氣體傳輸安全 I/Gas transmission safety I 第4周/ Wk 4.
第5週 氣體傳輸安全 II/Gas transmission safety II 第5周/ Wk 5.
第6週 薄膜生長機制 I/Thin film growth mechanism I 第6周/ Wk 6.
第7週 薄膜生長機制 II/Thin film growth mechanism II 第7周/ Wk 7.
第8週 期中考試/ Midterm Examination 第8周/ Wk 8.
第9週 古典熱力學介紹 I / Introduction to classical thermodynamics I 第9周/ Wk 9.
第10週 古典熱力學介紹 II / Introduction to classical thermodynamics II 第10周/ Wk 10.
第11週 古典熱力學介紹 III / Introduction to classical thermodynamics III 第11周/ Wk 11.
第12週 薄膜之熱力性質分析/Analysis of thin film thermal characteristics 第12周/ Wk 12.
第13週 Birch-Murnaghan狀態函數介紹/Birch-Murnaghan state function 第13周/ Wk 13.
第14週 擴散原理與應用 I/Diffusion principle and application I 第14周/ Wk 14.
第15週 擴散原理與應用 I/Diffusion principle and application II 第15周/ Wk 15.
第16週 期末考試/Final Examination 第16周/ Wk 16.
自主學習
內容
   02.閱覽產業及學術相關多媒體資料
自主學習/Self-directed Learning (Video appreciation and discussion on topics related to Epitaxy Engineering) 第17周/ Wk 17.
自主學習/Self-directed Learning (Video appreciation and discussion on topics related to Epitaxy Engineering) 第18周/ Wk 18.
學習評量方式
期中考試(Midterm Examination):
期中考試之目的主要在於評量學生對課堂講授資料的了解程度,培養同學課後複習的習慣以及思考問題的能力,並且作為課程內容調整之依據。

期末考試(Final Examination):
期末考試之目的主要在於評量學生對課堂講授資料的了解程度,培養同學課後複習的習慣以及思考問題的能力,並且作為課程內容調整之依據。
教科書&參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明)
1. Introduction to surface and thin film processes、John Venables、Cambridge University Press、2000。
2. 薄膜工程學、白木靖寬、吉田貞史編著、王建義編譯、全華、2004。
課程教材(教師個人網址請列在本校內之網址)
NCHU iLearning (https://lms2-sso.nchu.edu.tw/)
課程輔導時間
周三 12:00~13:00
聯合國全球永續發展目標(連結網址)
04.教育品質   07.可負擔能源   09.工業、創新基礎建設   11.永續城市   12.責任消費與生產提供體驗課程:N
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更新日期 西元年/月/日:2026/01/01 17:00:41 列印日期 西元年/月/日:2026 / 3 / 15
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