國立中興大學教學大綱

課程名稱	(中) 微機電系統(7902)
	(Eng.) Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)
開課單位	機械所
課程類別	選修			學分	3	授課教師	戴慶良
選課單位	機械所 / 碩專班			授課使用語言	中文	英文/EMI		開課學期	1141
課程簡述	本課程主要是提供機械系所與工學院同學有關微機電系統的相關技術和應用，課程重點包括矽製程技術、表面微加工技術、整體微加工技術、LIGA技術、CMOS-MEMS技術、以及微感測器和微致動器的實例應用介紹。
先修課程名稱								課程含自主學習	Y

課程與核心能力關聯配比(%)			課程目標之教學方法與評量方法
課程目標	核心能力	配比(%)	教學方法	評量方法
教導學生了解微機電系統製程技術，及其在微感測器與微致動器的應用。			討論 講授 網路/遠距教學	書面報告 測驗 作業 出席狀況 口頭報告
授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習)
週次 授課內容 第1週 Introduction to microelectromechanical system 第2週 Deposition thin film technology, PVD. 第3週 Deposition thin film technology, CVD. 第4週 Deposition thin film technology, CVD. 第5週 Lithography technology 第6週 Etching technology 第7週 Doping technology 第8週 Silicon fabrication technology, MOS. 第9週 期中考 第10週 Silicon fabrication technology (期中報告) 第11週 Surface micromachining technology 第12週 Surface micromachining technology 第13週 Buck micromachining technology 第14週 Buck micromachining technology 第15週 LIGA and CMOS-MEMS technology 第16週 Application of microelectromechanical system (期末考) Self-learning, Conducting a case study and creating a report on microelectromechanical systems. Self-learning, Conducting a case study and creating a report on microelectromechanical systems. 自主學習 內容
學習評量方式
期中考30%、期末考30%、自主學習+作業報告(20%)、點名20%
教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明)
教科書： 1.莊達人. VLSI製程技術, 高立書局, 2002. 2.Julian W.Gardner,Microsensors MEMS and Smart Devices,Wiley,2001.滄海書局代理。 參考書目： S.Fatikow and U.Rembold,Microsystem Technology and Microrobotics, Springer,1997
課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址）
投影片講解，黑板演算
課程輔導時間
星期四 3,4節
聯合國全球永續發展目標(連結網址)
提供體驗課程：N

請尊重智慧財產權及性別平等意識，不得非法影印他人著作。
更新日期 西元年/月/日：無	列印日期 西元年/月/日：2025 / 7 / 01
MyTB教科書訂購平台：http://www.mytb.com.tw/