國立中興大學教學大綱

課程名稱	(中) 微電子實驗(3415)
	(Eng.) Lab in Microelectronics
開課單位	電機系
課程類別	選修			學分	1	授課教師	江雨龍 等
選課單位	電機系 / 學士班			授課使用語言	中文	英文/EMI		開課學期	1141
課程簡述	本課程為光電及固態組基本實驗課程，內容包含光電及半導體元件各製作步驟及光偵測器與金氧半(MOS)元件的實作訓練。 This course offers practical training in fabricating and characterizing optoelectronic and semiconductor devices.
先修課程名稱

課程與核心能力關聯配比(%)			課程目標之教學方法與評量方法
課程目標	核心能力	配比(%)	教學方法	評量方法
本課程使學生學習光電及半導體元件的製作步驟與元件的特性測量與分析。 This course covers the manufacturing processes of optoelectronic and semiconductor devices, along with the measurement and analysis of their characteristics.	3.執行電機工程實務所需之技術與能力 4.資料蒐集、獨立思考、解決問題及研究創新之能力 5.溝通協調成果展現之能力，發揮團隊合作之精神，並理解工程倫理之重要性 6.培養國際觀及了解科技發展之趨勢 7.自我學習及終身學習之習慣與能力	20 20 20 20 20	講授 實習 習作 專題探討/製作	實作 作品 口頭報告 出席狀況
授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習)
週次 授課內容 第1週 1. 試片清潔 Sample cleaning 第2週 2. 光蝕刻製程 Photolithography process 第3週 3. 高溫氧化製程 High-temperature oxidation process 第4週 4. 物理氣相沉積系統 Physical vapor deposition system 第5週 5. 化學氣相沉積系統 Chemical vapor deposition system 第6週 6. Al金屬圖案蝕刻製程及測量 The aluminum metal pattern etching process and measurement 第7週 6. Al金屬圖案蝕刻製程及測量 The aluminum metal pattern etching process and measurement 第8週 期中報告及自我學習 Midterm Report and self-directed learning 第9週 7. ITO透明導電膜製作及測量 ITO Transparent Conductive Film Fabrication and Measurement 第10週 7. ITO透明導電膜製作及測量 ITO Transparent Conductive Film Fabrication and Measurement 第11週 8. MOS電容器製作及測量 MOS capacitor Fabrication and measurement 第12週 8. MOS電容器製作及測量 MOS capacitor Fabrication and measurement 第13週 9. 光偵測器製作及測量 Fabrication and measurement of photodetectors 第14週 9. 光偵測器製作及測量 Fabrication and measurement of photodetectors 第15週 9. 光偵測器製作及測量 Fabrication and measurement of photodetectors 第16週 10. 期末報告及自我學習 End of Semester Report and self-directed learning 自主學習 內容    03.製作專題報告
學習評量方式
成品實作 1. 鋁金屬圖案成形，厚度與電阻測量 2. MOS capacitor製作與特性分析 3. 光偵測器製作與特性分析 期中報告 期末報告 1. Aluminum metal pattern formation, thickness, and resistance measurement 2. MOS capacitor fabrication and characterization analysis 3. Fabrication and analysis of photodetectors 4. Mid-term report 5. Final report
教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明)
自編講義
課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址）
http://lab902.ee.nchu.edu.tw/
課程輔導時間
星期五10:00-12:00
聯合國全球永續發展目標(連結網址)
04.教育品質   09.工業、創新基礎建設 提供體驗課程：N

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更新日期 西元年/月/日：2025/09/01 17:05:24	列印日期 西元年/月/日：2025 / 9 / 17
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