| 課程與核心能力關聯配比(%) |
課程目標之教學方法與評量方法 |
| 課程目標 |
核心能力 |
配比(%) |
教學方法 |
評量方法 |
| 使學生學習光電及半導體元件各製作步驟與太陽電池與金氧半(MOS)元件的實際操作與特性分析。 |
| 3.執行電機工程實務所需之技術與能力 |
| 4.資料蒐集、獨立思考、解決問題及研究創新之能力 |
| 5.溝通協調成果展現之能力，發揮團隊合作之精神，並理解工程倫理之重要性 |
| 6.培養國際觀及了解科技發展之趨勢 |
| 7.自我學習及終身學習之習慣與能力 |
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| 授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共18週) |
| 週次 |
授課內容 |
| 第1週 |
1. 試片清潔
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| 第2週 |
2. 光蝕刻製程 |
| 第3週 |
3. 高溫氧化製程 |
| 第4週 |
4. 物理氣相沉積系統 |
| 第5週 |
5. 化學氣相沉積系統 |
| 第6週 |
6. Al金屬圖案蝕刻製程及測量 |
| 第7週 |
6. Al金屬圖案蝕刻製程及測量 |
| 第8週 |
期中報告 |
| 第9週 |
7. ITO透明導電膜製作及測量 |
| 第10週 |
7. ITO透明導電膜製作及測量 |
| 第11週 |
7. ITO透明導電膜製作及測量 |
| 第12週 |
8. MOS電容器製作及測量 |
| 第13週 |
8. MOS電容器製作及測量 |
| 第14週 |
8. MOS電容器製作及測量 |
| 第15週 |
9. p-i-n太陽電池製作及測量 |
| 第16週 |
9. p-i-n太陽電池製作及測量 |
| 第17週 |
9. p-i-n太陽電池製作及測量 |
| 第18週 |
期末報告 |
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| 學習評量方式 |
成品實作
1. 鋁金屬圖案成形，厚度與電阻測量
2. MOS capacitor製作與特性分析
3. a-Si:H p-i-n太陽電池製作與特性分析
期中報告
期末報告 |
| 教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明) |
| 自編講義 |
| 課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址） |
| http://lab902.ee.nchu.edu.tw/ |
| 課程輔導時間 |
| 星期五10:00-12:00 |
| 聯合國全球永續發展目標(連結網址) |
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