國立中興大學教學大綱
課程名稱 (中) 微機械加工製程(6823)
(Eng.) Micro-Mechanical Machining Process
開課單位 精密所
課程類別 選修 學分 3 授課教師 王東安
選課單位 精密所 / 碩士班 授課使用語言 英文 英文/EMI Y 開課學期 1132
課程簡述 Study of fabrication for microelectromechanical devices and systems through available semiconductor machining services. Emphasize on design and fabrication of microactuators and microsensors. Students are required to learn and familiar with semiconductor facrication services. The course includes a term project that involves the design, analysis and layout of a MEMS device.
學習微機電系統的半導體製程。強調微致動器與微感測器的設計與製作。學生需繳交期末報告。
先修課程名稱
課程含自主學習 Y
課程與核心能力關聯配比(%) 課程目標之教學方法與評量方法
課程目標 核心能力 配比(%) 教學方法 評量方法
Introduce students to frication of microsystems. 介紹微系統之加工製程。
1.運用數學、科學及製程工程知識能力
2.設計、執行實驗、分析數據及撰寫論文能力
3.整合製程、元件與系統設計、實作及產品設計能力
5.具備精密工程及微系統技術之創新思考、解決問題與國際視野能力
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習作
實習
講授
口頭報告
作業
測驗
授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共18週)
週次 授課內容
第1週 Course introduction
第2週 MEMS introduction
第3週 MEMS technology
第4週 MEMS technology
第5週 Accelerometer
第6週 Accelerometer
第7週 MEMS measurement
第8週 MEMS circuit
第9週 Virtuoso layout
第10週 Virtuoso layout
第11週 Klayout
第12週 Klayout
第13週 Design rule check
第14週 Capacitive sening
第15週 Piezoresistive sensing
第16週 Piezoresistive sensing
第17週 self-directed learning, topic: integrating AI and IoT for smart sensor
第18週 self-directed learning, topic: integrating AI and IoT for smart sensor, submit a report to TA
學習評量方式
Homework 50%, Project 50%
教科書&參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明)
S.D. Senturia, “Microsystem Design”, Kluwer.
課程教材(教師個人網址請列在本校內之網址)
ilearning
課程輔導時間
Thursdays noon-1pm
聯合國全球永續發展目標(連結網址)
04.教育品質   08.就業與經濟成長   09.工業、創新基礎建設提供體驗課程:N
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更新日期 西元年/月/日:2025/01/13 11:43:12 列印日期 西元年/月/日:2025 / 3 / 14
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