| 國立中興大學教學大綱 |
| 課程名稱 | (中) 半導體製程與設備概論(4230) | ||||||||
| (Eng.) Introduction to Semiconductor Fabrication Technology | |||||||||
| 開課單位 | 材料系 | ||||||||
| 課程類別 | 選修 | 學分 | 3 | 授課教師 | 武東星 | ||||
| 選課單位 | 材料系 / 學士班 | 授課使用語言 | 中文 | 英文/EMI | 開課學期 | 1141 | |||
| 課程簡述 | 請參閱本系網頁：http://www.mse.nchu.edu.tw/wb_main_co2.asp 介紹半導體製程與設備的基本原理與應用等，使學生對積體電路與未來半導體產業發展趨勢有概括性之認識 This course will give an introduction to the physical principles of modern semiconductor fabrication process and related advanced fabrication equipments. It can also serve as a basic knowledge for students who need the overall view of integrated circuit industry and technology developments. |
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| 先修課程名稱 | 課程含自主學習 | Y | |||||||
| 課程與核心能力關聯配比(%) | 課程目標之教學方法與評量方法 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 課程目標 | 核心能力 | 配比(%) | 教學方法 | 評量方法 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 1. 熟悉半導體元件的製作流程2. 熟悉各種半導體材料特性及物理特性量測方法 3. 熟悉板導體製程設備的原理(包含真空系統、鍍膜設備、蝕刻設備以及黃光微影系統等) 4. 藉由實際的機台操作示範，讓學生了解半導體製程的技術 |
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| 授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 學習評量方式 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| (1) 出席率、平時成績-20% (2) 專題作業報告-30% (3) 期末考試-50% |
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| 教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 參考書： (1) Semiconductor Devices: Physics and Technology: Physics and Technology. Simon M. Sze, Ming-Kwei Lee, 3rd Edition, John Wiley & Sons, 2012 (ISBN: 1118139836) (2) Introduction to microfabrication. S. Franssila, John Wiley & Sons, 2004. (ISBN: 0-470-85106-6) (3) 半導體與光電製程及設備，李有璋/主編，出版社：高利圖書，出版日期：2017/02/ (ISBN: 978-986-378-011-3) (4) 圖解半導體，菊地正典/著、羅丞曜/校訂，譯者：王政友，出版社：世茂，出版日期：2012/03/27 (ISBN: 9577766102) |
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| 課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| https://web2.nchu.edu.tw/~dsw/ |
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| 課程輔導時間 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 每週五，下午5-7點 |
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| 聯合國全球永續發展目標(連結網址) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 請尊重智慧財產權及性別平等意識，不得非法影印他人著作。 | |
| 更新日期 西元年/月/日：無 | 列印日期 西元年/月/日：2025 / 7 / 03 |
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