國立中興大學教學大綱
課程名稱 (中) 微觀工程科學(6839)
(Eng.) Engineering Sciences in Micro-Electro-Mechanical Systems
開課單位 精密所
課程類別 選修 學分 3 授課教師 王東安
選課單位 精密所 / 碩士班 授課使用語言 英文 開課學期 1142
課程簡述 Introduction to micromechanics, mechanical analyses, electromagnetic analyses, principles in sensing and actuation, fabrication parameters and material properties of MicroElectroMechanical systems. The course will include a term project.
簡介微機電系統之機械力學,電磁分析,感測與致動原理,製程參數與材料特性。此課程將需繳交一份期末報告。



先修課程名稱
課程與核心能力關聯配比(%) 課程目標之教學方法與評量方法
課程目標 核心能力 配比(%) 教學方法 評量方法
Build a strong foundation for continuous learning in microelectromechanical systems. Electromechanics is emphasized in the teaching process. A semester long project will get students familiar with the MEMS chip design process. Prepare students as a future MEMS engineer.
1.運用數學、科學及製程工程知識能力
3.整合製程、元件與系統設計、實作及產品設計能力
4.具備領導、管理、溝通協調及專案規劃管理之能力與團隊合作之精神
40
40
20
講授
討論
習作
書面報告
測驗
作業
口頭報告
授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習)
週次 授課內容
第1週 1 Course introduction
第2週 2 Heat conduction, elasticity, thermoelasticity HW1
第3週 3 Fluid dynamics, electromagnetism
第4週 4 Scaling HW2
第5週 5 Thermally driven systems
第6週 6 Layout
第7週 7 Elastic structures HW3
第8週 8 Elastic structures
第9週 9 Thermal-elastic systems HW4
第10週 10 Electrostatic-elastic systems
第11週 11 Electrostatic-elastic systems
第12週 12 Design rule
第13週 13 Magnetically actuated systems HW5 (Project proposal)
第14週 14 Magnetically actuated systems
第15週 15 Microfluidics HW6 (Process report)
第16週 6 Microfluidics
Ϲ Layout Final report
Ϻ FINAL report
自主學習
內容
   01.參與專業論壇、講座、企業分享等產官學研相關交流活動
   02.閱覽產業及學術相關多媒體資料

學習評量方式
Homework 50%, Project 50%



教科書&參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明)
Required Text: J.A. Pelesko, D.H. Bernstein, “Modeling MEMS and NEMS”, Chapman & Hall/CRC.
Recommended Text: V.K. Varadan, K.J. Vinoy, K.A. Jose, “RF MEMS and Their applications”, Wiley.



課程教材(教師個人網址請列在本校內之網址)
web.nchu.edu.tw/~daw/Teaching/MEMSSCI/engi_sci_mems.htm



課程輔導時間
Tuesdays 11 – noon




聯合國全球永續發展目標(連結網址)
04.教育品質   08.就業與經濟成長   09.工業、創新基礎建設   10.減少不平等   17.全球夥伴提供體驗課程:N
請尊重智慧財產權及性別平等意識,不得非法影印他人著作。
更新日期 西元年/月/日:2026/01/07 16:04:05 列印日期 西元年/月/日:2026 / 5 / 02
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