| 國立中興大學教學大綱 |
| 課程名稱 | (中) 奈米加工技術(6974) | ||||||||
| (Eng.) Nano Fabrication Technology | |||||||||
| 開課單位 | 智科碩士學程 | ||||||||
| 課程類別 | 選修 | 學分 | 3 | 授課教師 | 蘇法成 | ||||
| 選課單位 | 智科碩士學程 / 碩士班 | 授課使用語言 | 英文 | 開課學期 | 1142 | ||||
| 課程簡述 | This course aims to introduce and develop an understanding of the fundamental theories, fabrication processes, and practical applications of nanofabrication technologies. The course covers topics including nanolithography, nanoparticle- and beam-based machining, nanoprobe technologies, as well as nanoscale metrology and characterization methods. Through the introduction of these advanced nanofabrication techniques, the course also highlights their latest industrial applications in emerging products. 本課程旨在介紹並理解奈米加工技術相關之理論基礎、製程方法與實際應用。課程內容涵蓋奈米微影技術、奈米粒子與束流加工、奈米探針技術及奈米量測與檢測方法等。透過這些先進奈米加工技術之介紹，課程亦將說明其於新興產品中的最新產業應用發展。 |
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| 先修課程名稱 | |||||||||
| 課程與核心能力關聯配比(%) | 課程目標之教學方法與評量方法 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 課程目標 | 核心能力 | 配比(%) | 教學方法 | 評量方法 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 1. Acquire core professional knowledge in nanofabrication technologies. 2. Develop the ability to investigate and study issues related to nanofabrication technologies. |
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| 授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 學習評量方式 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Class Participation and Attendance (25%)、Examinations and Assessments (50%)、Written and Oral Presentations (25%) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Textbook (教科書): 1. K.E. Drexler, Nanosystems: molecular machinery, manufacturing, and computation, Wiley Interscience, 1992. 2. Nanotechnology, a journal published by Institute of Physics. 3. Nano Letters, a journal published by American Chemical Society. References(參考書目): 1. Pimpin, A. and W. Srituravanich, Review on Micro- and Nanolithography Techniques and Their Applications. Engineering Journal, 2012. 16: p. 37–56. (Core nanofabrication technologies—including optical lithography, electron-beam lithography, focused ion beam techniques, soft lithography, nanoimprint lithography, and scanning probe lithography—are introduced, together with their applications in the electronics, optoelectronics, biomedical, and energy fields.) (光學微影、電子束微影、聚焦離子束、軟微影、奈米壓印及掃描探針微影等核心奈米加工技術，並涵蓋其在電子、光電、醫療與能源領域之應用) 2. Gates, B.D., et al., New Approaches to Nanofabrication: Molding, Printing, and Other Techniques. Chemical Reviews, 2005. 105(4): p. 1171–1196. (A review of nanofabrication strategies, including advanced approaches such as printing/imprinting and template-based fabrication methods.) (奈米製作策略的綜述，包括印刷/壓印與模板製作等先進方法) |
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| 課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| The course is primarily delivered through lecture presentations, with selected topics supplemented by instructional videos available on YouTube. 上課以簡報方式呈現，部分授課內容會提供Youtube教學影片作輔助。 |
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| 課程輔導時間 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Please make an appointment in advance via email. Office hours are Thursday from 12:00 to 14:00 and Friday from 10:00 to 12:00. 請事先email預約。週四12:00-14:00和週五10:00-12:00 |
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| 聯合國全球永續發展目標(連結網址) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 請尊重智慧財產權及性別平等意識，不得非法影印他人著作。 | |
| 更新日期 西元年/月/日：2026/02/24 10:47:42 | 列印日期 西元年/月/日：2026 / 3 / 15 |
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