國立中興大學教學大綱

課程名稱	(中) 半導體工程(2338)
	(Eng.) Semiconductor Engineering
開課單位	電機系
課程類別	選修			學分	3	授課教師	賴聰賢
選課單位	電機系 / 學士班			授課使用語言	中文	英文/EMI		開課學期	1141
課程簡述	介紹半導體積體電路晶片製程及相關技術內容，涵蓋半導體基本特性、磊晶技術、熱處理、微影、蝕刻、電漿技術、離子佈植、蝕刻、薄膜沉積等。 Introduction to semiconductor manufacturing technology for integrated circuit chips, including semiconductor basics, wafer epitaxy, thermal processes, lithography, plasma basics, ion implantation, etching, thin film deposition, etc.
先修課程名稱								課程含自主學習	Y

課程與核心能力關聯配比(%)			課程目標之教學方法與評量方法
課程目標	核心能力	配比(%)	教學方法	評量方法
提供大學部同學學習半導體超大型積體電路製程相關技術內容，瞭解產業架構及發展趨勢。(For undergraduate students to Understand semiconductor manufacturing technology, and IC industry.)			網路/遠距教學 講授 討論	出席狀況 作業 測驗
授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習)
週次 授課內容 第1週 Introduction 第2週 Introduction to IC Fabrication 第3週 Semiconductor Basics (I) 第4週 Semiconductor Basics (II) 第5週 Wafers and Substrates (I) 第6週 Wafers and Substrates (II) 第7週 Thermal Process (I) 第8週 Thermal Process (II) 第9週 Photolithography (I) 第10週 Photolithography (II) 第11週 Plasma Basics (I) 第12週 Plasma Basics (II) 第13週 Ion Implantation (I) 第14週 Ion Implantation (I) 第15週 Etch (I) 第16週 Etch (II) CVD and Dielectric Thin Film (I) CVD and Dielectric Thin Film (II) 自主學習 內容
學習評量方式
期中考、期末考、習題作業、出席狀況
教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明)
教科書:半導體製程技術導論, 第三版, 蕭宏, 全華圖書. 參考書:Semiconductor Devices Physics and Technology, by S. M. Sze, John Wiley
課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址）
課程輔導時間
13:30-15:00, Thursday.
聯合國全球永續發展目標(連結網址)
01.消除貧窮   02.消除飢餓   04.教育品質   05.性別平等   07.可負擔能源   08.就業與經濟成長   09.工業、創新基礎建設   10.減少不平等   11.永續城市   12.責任消費與生產   13.氣候行動   14.海洋生態   15.陸地生態   16.和平與正義制度   17.全球夥伴 提供體驗課程：N

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更新日期 西元年/月/日：無	列印日期 西元年/月/日：2025 / 7 / 04
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