| 國立中興大學教學大綱 |
| 課程名稱 | (中) 微機電概論(3058) | ||||||||
| (Eng.) Introduction to MEMS | |||||||||
| 開課單位 | 生機系 | ||||||||
| 課程類別 | 選修 | 學分 | 3 | 授課教師 | 蔡燿全 | ||||
| 選課單位 | 生機系 / 學士班 | 授課使用語言 | 中文 | 開課學期 | 1142 | ||||
| 課程簡述 | 本課程旨在介紹微機電系統之基本原理、製程技術及其應用。課程內容涵蓋微機電系統之發展背景、材料特性、微製造技術（如光蝕刻、薄膜沉積與蝕刻技術）、微感測器與微致動器之工作原理，以及其在生醫、農業、環境監測及工程領域之應用。除課堂講授外，本課程亦著重培養學生之學術研究基礎能力，指導學生學習如何查詢SCI期刊論文、閱讀與分析學術文獻，了解學術論文之基本架構與撰寫方式。透過文獻閱讀與報告，協助學生建立學術研究之基本觀念，並培養其整理資料與表達研究成果之能力，為未來進行專題研究或撰寫學術論文奠定基礎。 This course aims to introduce the fundamental principles, fabrication technologies, and applications of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS). The course content includes the development background of MEMS, material properties, microfabrication technologies (such as photolithography, thin-film deposition, and etching processes), the working principles of microsensors and microactuators, and their applications in biomedical, agricultural, environmental monitoring, and engineering fields. In addition to lectures, this course also emphasizes the development of students’ fundamental research skills. Students will be guided to learn how to search for SCI journal articles, read and analyze academic literature, and understand the basic structure and organization of scientific papers. Through literature review and presentations, students will develop essential research concepts and enhance their abilities in information organization and research presentation, providing a foundation for future research projects and academic paper writing. |
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| 先修課程名稱 | |||||||||
| 課程與核心能力關聯配比(%) | 課程目標之教學方法與評量方法 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 課程目標 | 核心能力 | 配比(%) | 教學方法 | 評量方法 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 1.了解微機電系統之基本原理與製程技術。Understand the fundamental principles and fabrication technologies of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS). 2.認識微感測器與微致動器之工作原理及其應用。Understand the working principles and applications of microsensors and microactuators. 3.認識微機電系統於生醫、農業及工程領域之應用。Recognize the applications of MEMS in biomedical, agricultural, and engineering fields. 4.培養學生查詢SCI期刊論文及閱讀學術文獻之能力。Develop the ability to search for SCI journal articles and read academic literature. 5.了解學術論文之基本架構與培養學術報告能力。Understand the basic structure of scientific papers and develop academic presentation skills. 6.培養學生學術研究基礎能力，作為未來研究之基礎。Develop fundamental research skills as a foundation for future research. |
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| 授課內容(單元名稱與內容、習作/每週授課、考試進度-共16週加自主學習) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 學習評量方式 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 課堂參與及出席(10%)+作業(10%)+期中考試(25%)+期末考試(25%)+期末報告(30%) Class participation and attendance (10%) + Assignments (10%) + Midterm exam (25%) + Final exam (25%) + Final project report (30%) |
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| 教科書＆參考書目(書名、作者、書局、代理商、說明) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 1.Julian W. Gardner, Vijak K. Varadan, Osama O. Awadelkarim,溫榮弘譯,微機店元件,滄海書局余柏璁 0937-215704(上課用書) 2.徐泰然著, 朱銘祥譯, 微機電系統與微系統設計與製造, 麥格羅希爾公司,2003 |
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| 課程教材（教師個人網址請列在本校內之網址） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| In ilearning website | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 課程輔導時間 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Wednesdays, 10:00 AM – 12:00 PM | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 聯合國全球永續發展目標(連結網址) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 請尊重智慧財產權及性別平等意識，不得非法影印他人著作。 | |
| 更新日期 西元年/月/日：2026/02/22 16:56:05 | 列印日期 西元年/月/日：2026 / 2 / 28 |
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